Высокотемпературная обработка конструкционной керамики (спекание SiC, AlN, инфильтрация жидкого силикона) осуществляется в вакуумных печах при рабочих температурах до 2500°С.

Печь может быть вертикальной (загрузка с донной части или сверху) и горизонтальной.

Нагревательная камера может быть графитовой или цельнометаллической (молибден или вольфрам). Системы множественных зон нагрева для усиления однородности температуры контролируются автоматически выдвигающимися термопарами и оптическими пирометрами.

Насосы с масляным уплотнением или безмасляные насосы позволяют поддерживать вакуум в диапазоне 1Е-1 – 1Е-2 мбар. Насосные группы, включающие диффузионный или турбомолекулярный насос позволяют работать в диапазоне вакуума 1Е-4 – 1Е-6 мбар.

Система быстрого охлаждения может быть встроена в печь для уменьшения общего времени цикла и увеличения производительности.